제진/방음시스템

Vibration Isolation System, 제진시스템

감쇠율이 탁월한 높은 제진성능
제진대는 진동으로부터 취약한 정밀장비(Aliner, Stepper, SEM, TEM, AFM, CMM, PDP)가
외부 진동의 영향으로 장비 고유의 기능이 저하됨을 방지하기 위해 외부 진동을 차단하고
피치 못하게 발생하는 상부 동하중에 의한 진동도 제어 가능한 것을 말합니다.

외부로부터의 미세한 진동을 제진하기 위하여 고유진동수가 낮은 ISOLATOR를 채용하여 안정화 시간이 매우 짧으며 반응속도가 빠르고, 제진성능을 높인 구조로 되어 있습니다. 압축공기 또는 질소사용도 가능한 DIRECT 작동방식을 채용한 구조로서 조정작업이 간편하고
COMPACT한 구조로 되어 있습니다.