일반 진동 규제치
> 기술자료 > 일반 진동 규제치| Facility Equipment or Use | Vibration Criteria | ||
| 4~8 [Hz] RMS Acceleration |
8~80[Hz] RMS Velocity |
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| 일반적인 진동환경 |
일반사업장 | 4gal (변위16μm) |
800μm/s |
| 사무실 | 2gal (변위 8μm) |
400μm/s | |
| 거주지 및 Computer System | 1gal (변위 4μm) |
200μm/s | |
| 100×현미경, 로봇수술실, Operation Room, 일반연구실 기타 | 0.5gal
(변위 2μm) |
100μm/s | |
| 정밀진동 Class : A |
400×현미경, 측정실 Optical or Other Balance Optical Comparators,
전자장비, 생산설비 등 ※ 검사, Probe Test, 생산 지원설비 및 장치 |
0.25gal (변위 1μm) |
50μm/s |
| 정밀진동 Class : B |
400×이상 현미경, 精密안과, 신경계 수술실, 防振설비를 갖춘
광학장비, 반도체 생산설비 등 ※ Aligner, Steppers등 3μm이상 선폭 노광장치 |
0.13gal (변위 0.5μm) |
25μm/s |
| 정밀진동 Class : C |
30000×전자현미경, Magnetic Resonance Imager, 반도체 생산설비 ※ Aligner, Steppers등 1μm 선폭 노광장치 → 1M DRAM정도 |
0.06gal (변위 0.25μm) |
12μm/s |
| 정밀진동 Class : D |
30000×이상 전자현미경, Mass Spectrometer, 세포이식 장치,
반도체 생산설비 ※ Aligner, Steppers 등 0.5μm선폭 노광장치 → 4M DRAM 정도 |
0.03gal (변위 0.12μm) |
6μm/s |
| 정밀진동 Class : E |
Unisolated Laser and Optical Research System, 반도체 생산설비 ※ Aligner, Steppers 등 0.25μm 선폭 노광장치 → 64M DRAM 정도 |
0.015gal (변위 0.06μm) |
3μm/s |
※ 일반적인 정밀장비의 정밀도, 분해능에 따른 바닥의 허용진동 기준임
단위 환산표
| 구분 | SI 단위 | 종래 단위 | 환산 |
| 힘 | N | kgf | 1kgf=9.8N |
| 스프링정수 | N/mm | kgf/mm | 1kgf/mm=9.8N/mm |
| 강도, 응력, 압력 | MPa （또는/mm²） | kgf/cm² kgf/mm² |
1kgf/cm²=0.098MPa(N/mm²) 1kgf/mm²=9.8MPa(N/mm²) |
| 모멘트, 토크 | N·m | kgf·cm | 1kgf·cm=0.098N·m |
| 가속도 | m/sec² cm/sec² |
G Gal |
1G=9.8m/sec² 1gal=1cm/sec² |
※ 1kgf = 9.80665N 이지만, 간단히 9.8로 표시하였음
