공기스프링식 제진시스템

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특징

• 탁월한 제진성능
• 자동수평유지
• DIRECT 구조로 안정화 시간이 짧다.
• 정밀미세 조정작업 용이
• 경량 고강성 광학정반/석정반 사용

용도

• A.F.M
• SCANNING PROBE MICROSCOPE
• PROBE STATION
• LASER ALIGNMENT
• OPTICAL MICROSCOPE외 검사측정장비

항목	규격
고유진동수	1.2㎐ ~ 2.5㎐
수평조절방법	Auto leveling sensor
감쇠방법	Air damping by orifice
반복 정밀도	±0.1mm
탑재 허용 중량	150 ∼ 500㎏
외형치수	표참조
정반치수	표참조

MODEL 표기 방법

Model 별	TABLE (W x D) \| (mm)	구분	총 조립높이(H) \| (mm)	표준 탑재하중 \| (kg)
GVIA-0606	600 x 600	L, C	750	100
GVIA-7575	750 x 750	L, C	750	100
GVIA-0707	700 x 700	L, C	750	100
GVIA-0906	900 x 600	L, C	750	100
GVIA-0907	900 x 700	L, C	750	100
GVIA-0975	900 x 750	L, C	750	100
GVIA-0909	900 x 900	L, C	750	150
GVIA-1006	1000 x 600	L, C	750	150
GVIA-1075	1000 x 750	L, C	750	150
GVIA-1010	1000 x 1000	L, C	750	150
GVIA-1206	1200 x 600	L, C	750	150
GVIA-1275	1200 x 750	L, C	750	150
GVIA-1208	1200 x 800	L, C	750	150
GVIA-1209	1200 x 900	L, C	750	150
GVIA-1210	1200 x 1000	L, C	750	150
GVIA-1212	1200 x 1200	L, C	750	150
GVIA-1506	1500 x 600	L, C	750	150
GVIA-1575	1500 x 750	L, C	750	150
GVIA-1509	1500 x 900	L, C	750	150
GVIA-1510	1500 x 1000	L, C	750	150
GVIA-1512	1500 x 1200	L, C	750	150
GVIA-1515	1500 x 1500	L, C	750	150
GVIA-1875	1800 x 750	L, C	750	150
GVIA-1809	1800 x 900	L, C	750	150
GVIA-1812	1800 x 1200	L, C	750	150
GVIA-1815	1800 x 1500	L, C	750	200
GVIA-2010	2000 x 1000	L, C	750	200
GVIA-2412	2400 x 1200	L, C	750	200
GVIA-3615	3600 x 1500	L, C	750 (6 - support 제작품목)	300
GVIA-1812	1800 x 1200	L, C	750	150
GVIA-1815	1800 x 1500	L, C	750	200
GVIA-2010	2000 x 1000	L, C	750	200
GVIA-2412	2400 x 1200	L, C	750	200
GVIA-3615	3600 x 1500	L, C	750 (6 - support 제작품목)	300

• 모델 선정시 일반 LAB실용 및CLEAN ROOM용 구분하여 주십시오.
• TAP 가공 MATRIX치수를 명기하여 주십시오.(표준 25*25, 선택 50*50)
• 본 규격외 제작 가능하오니 별도 주문하여 주십시오.
‌• 본 제품은 성능개선을 위하여 예고없이 변경될 수 있으니 양지바랍니다.
• 고정밀 석정반 채용 시 별도 주문하여 주십시오.