공기스프링식 아이솔레이터

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•‌ 다양한 제품군
‌ ‌ ‌ ‌ 고려에프앤디의 아이솔레이터 제품들은, 광학현미경이나 레이저 응용기술에서부터, 반도체,
‌ ‌ ‌ ‌ LCD제조 및 검사, 소/중/대형 스테이지에 이르기까지 폭넓고 다양한 적용분야에서
‌ ‌ ‌ ‌ 우수한 제진성능을 발휘하는 공기스프링방식의 제진시스템입니다.

•‌ 범용성있는 AIR MOUNT형 제진시스템
‌ ‌ ‌ ‌ GPM, GPMK, GDSK 시리즈 및 오일댐퍼는 다양한 하중 상황에 최적의 설치가 가능하며,
‌ ‌ ‌ ‌ 설치 후에도 우수한 성능을 발휘합니다.

•‌ 넓은 범위의 적재하중 적용가능
‌ ‌ ‌ ‌ 제진이 필요한 정밀기기/설비의 종류와 사용목적에 따른 하중조건이 다양해짐에 따라,
‌ ‌ ‌ ‌ 아이솔레이터의 대응부하 하중을 넓게 구성하여 고객의 요구에 부응하고 있습니다.

•‌ 설비의 이동하중에도 높은 대응성
‌ ‌ ‌ ‌ 중대형 정밀 스테이지 상부의 이동하중에 대해서도, 제진 및 높은 반복정밀도를
‌ ‌ ‌ ‌ 유지하도록 설계되었으며, 고객의 중대형 정밀설비의 생산성을 더욱 높여드립니다.


적용분야 및 용도

•‌ 반도체 제조 및 검사장치
•‌ LCD제조 및 검사장치
•‌ 조도, 경도, 진원도 측정기
•‌ 전자현미경
•‌ 원자현미경
•‌ 레이저 가공장치
•‌ 좌표측정장치
•‌ 정밀스테이지설비
•‌ 기타 제진을 요하는 장치


스테이지 하부, 아이솔레이터 설치예




진동전달률 그래프