아이솔레이터

GPMK Oil Damper series (Oil Damper외장형)

•‌ ‌짧은 Settling Time과 제진이 동시에 필요한 스테이지 시스템에 적합함
•‌ ‌Settling Time 변경 필요시, 외장형 오일댐퍼의 오일 교체 가능
•‌ ‌‌외부 충격으로 발생하는 진동을 외부 오일댐퍼와 정밀 멤브레인형
    에어 스프링이 신속히 감쇠시키는 구조임
•‌ ‌‌설계자의 의도에 따라 오일댐퍼를 별도의 위치에 설치 할수 있어 설계적응성이 좋음

항   목	GPMK-500 + Oil Damper	GPMK-1000 + Oil Damper	GPMK-1500 + Oil Damper	GPMK-2000 + Oil Damper	GPMK-2500 + Oil Damper	GPMK-3000 + Oil Damper
고유진동수 Natural Frequency	3.0 ~ 4.0 Hz
제진방식 Isolation Method	정밀 멤브레인형 에어스프링 + 외장형 Oil Damper
수평유지방식 Leveling Method	자동 수평유지기구에 의해서 자동적으로 수평을 유지
수평유지 반복정밀도 Leveling repeatability	± 0.2 mm 이하
하중변화에 따른 안정화시간 Settling Time	2 ~ 3 초
치수 [W x D x H mm]	240x240x190	310x310x190	320x320x190	360x360x190	400x400x190	450x450x190
탑재하중 [kg/ea]	500	1000	1500	2000	2500	3000
취부구멍간격 [AxB mm]	210 x 210	280 x 280	280 x 280	320 x 320	360 x 360	410 x 410
취부구멍치수 [C mm]	Φ14	Φ14	Φ14	Φ14	Φ14	Φ14
공급 공기압력	0.3 ~ 0.6 MPa
액세서리 부품	압력계 부착 레귤레이터, 공압호스, 공압FITTING